五種 壓力傳感器 工作原理 匯總

總結了5種壓力傳感器的工作原理:隨著(zhù)自動(dòng)化技術(shù)的進(jìn)步，在工業(yè)設備中，除液柱式壓力計、彈性壓力計外，現在還采用了將壓力轉換為電信號的壓力變送器和壓力傳感器。那么這些壓力變送器和壓力傳感器是如何將壓力信號轉換成電信號的呢？不同的轉換方式有什么特點(diǎn)？

一、壓電壓力傳感器。

壓力式壓力傳感器主要基于壓力效應，利用電氣部件和其他機器將待測量的壓力轉換為電量，進(jìn)行相關(guān)測量作業(yè)的測量精密儀器，如許多壓力變送器和壓力傳感器。壓電傳感器不能應用于靜態(tài)測量，是因為受外力作用后的電荷，電路有無(wú)限大的輸入阻力時(shí)可以保存。但事實(shí)并非如此。因此，壓電傳感器只能應用于動(dòng)態(tài)測量。其主要壓力材料為磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。壓力效應是在石英發(fā)現的。

當應力發(fā)生變化時(shí)，電場(chǎng)的變化很小，其他壓力晶體將取代石英。酒石酸鉀鈉具有較大的壓力系數和壓力敏感度，但只能用于室內濕度和溫度較低的場(chǎng)所。磷酸二氫胺是一種人工晶體，在濕度高、溫度高的環(huán)境環(huán)境，因此應用非常廣泛。隨著(zhù)技術(shù)的發(fā)展，壓力效應也已經(jīng)應用于多晶體。例如，包括壓力陶瓷、鈮鎂酸壓力陶瓷、鈮酸鹽系壓力陶瓷、鈦酸鋇壓力陶瓷等。

以壓電效應為工作原理的傳感器是機電轉換式和自發(fā)電式傳感器。其敏感部件是由壓力材料制成的，壓力材料受到外力作用時(shí)，表面形成電荷，電荷通過(guò)電荷放大器、測量電路的放大、變換阻抗后，轉換為與所受外力成正比關(guān)系的電力輸出。用于測量力和轉換力的非電氣物理量，如:

加速度和壓力。重量輕多優(yōu)點(diǎn):重量輕、工作可靠、結構簡(jiǎn)單、噪音比高、靈敏度高、多。但是，由于部分電壓材料不潮濕，需要采取一系列的防潮措施，輸出電流的反應不好，因此需要使用電荷放大器或高輸入阻抗電路來(lái)彌補這一缺點(diǎn)，使設備更好地工作。

二、壓阻壓力傳感器。

壓阻壓力傳感器主要基于壓阻效應。壓阻效應用于描述材料在機械應力下產(chǎn)生的電阻變化。與上述壓力效應不同，壓力效應只產(chǎn)生阻力變化，不產(chǎn)生電荷。

發(fā)現大多數金屬材料和半導體材料具有阻力效果。其中半導體材料中的抗壓效果遠大于金屬。硅是目前集成電路的主要原因，硅制成的壓阻性元件的應用非常有意義。的電阻變化不僅來(lái)自與應力有關(guān)的幾何變化，而且來(lái)自材料本身與應力有關(guān)的電阻，其程度因比金屬大幾百倍。n型硅的電阻變化主要是由于其三個(gè)導游谷對的位移引起的轉移率不同導游谷間的載荷重新分布，電子在不同流動(dòng)方向的轉移率發(fā)生了變化。其次，由于導帶谷形狀的變化，等效質(zhì)量的變化。在P型硅中，這種現象變得更加復雜，也導致了等效質(zhì)量的變化和電孔的轉換。

壓阻壓力傳感器通常通過(guò)引線(xiàn)連接到惠斯登電橋。平時(shí)敏感芯沒(méi)有增加壓力，橋處于平衡狀態(tài)(稱(chēng)為零位)，傳感器受壓后芯片電阻變化，橋處于平衡狀態(tài)。在橋上加入恒定電流和電壓電源時(shí)，橋會(huì )輸出與壓力對應的電壓信號，傳感器的電阻變化會(huì )通過(guò)橋變成壓力信號輸出。電橋檢測出電阻值的變化，擴大后，通過(guò)電壓電流的轉換，轉換為相應的電流信號，該電流信號通過(guò)非線(xiàn)性校正環(huán)路的補償，產(chǎn)生了輸入電壓線(xiàn)性對應關(guān)系的4~20mA的標準輸出信號。

為了減少溫度變化對核心電阻值的影響，提高測量精度，壓力傳感器采用溫度補償措施使零點(diǎn)漂移、靈敏度、線(xiàn)性、穩定性等技術(shù)指標保持高水平。

三、電容式壓力傳感器。

電容式壓力傳感器是利用電容器作為敏感部件，將被測壓力轉換為電容值變化的壓力傳感器。該壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極，薄膜感到壓力變形時(shí)，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過(guò)測量電路可以輸出與電壓有關(guān)的電信號。電容壓力傳感器屬于極距離變化型電容傳感器，可分為單電容壓力傳感器和差電容壓力傳感器。

單電容壓力傳感器由圓形薄膜和固定電極組成。膜在壓力的作用下變形，改變電容器的容量，其靈敏度與膜的面積和壓力成正比，與膜的張力和膜到固定電極的距離成反比。另一種類(lèi)型的固定電極取凹形球面狀，薄膜為周邊固定的張緊平面，薄膜可以用塑料鍍金屬層的方法制作。該型號適用于測量低壓，具有較高的過(guò)載能力。也可以用帶活塞的動(dòng)極膜片制作測量高壓的單電容壓力傳感器。這種類(lèi)型可以減少薄膜的直接受壓面積，提高薄膜的靈敏度。它還與各種補償和保護部和放大電路整體密封，以提高抗干擾能力。該傳感器適用于測量動(dòng)態(tài)高壓，遠程測量飛機。單電容壓力傳感器有傳聲器式(麥克風(fēng)式)和聽(tīng)診器式等。

差電容式壓力傳感器的受壓膜片電極位于兩個(gè)固定電極之間，構成兩個(gè)電容。在壓力的作用下，下一個(gè)電容器的容量增大，另一個(gè)相應減小，測量結果由差動(dòng)式電路輸出。其固定電極是在凹凸的玻璃表面鍍金屬層制成的。過(guò)載時(shí)，薄膜受凹面保護，不破裂。電容式壓力傳感器比單電容式靈敏度高，線(xiàn)性好，但加工困難(特別是對稱(chēng)性難以保證)，無(wú)法實(shí)現被測氣體和液體的隔離，因此不適合在有腐蝕性和雜質(zhì)的流體中工作。

四、電磁壓力傳感器。

多種利用電磁原理的傳感器統稱(chēng)，主要包括電感壓力傳感器、霍爾壓力傳感器、渦流壓力傳感器等。

電感壓力傳感器的工作原理是磁性材料和磁導率不同，當壓力作用于薄膜時(shí)，空氣間隙的大小會(huì )發(fā)生變化，空氣間隙的變化會(huì )影響線(xiàn)圈電感的變化，處理可以將該電感的變化轉化為相應的信號輸出，達到測量壓力的目的。該壓力傳感器根據磁路的變化分為變磁阻和變磁導兩種。電感壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，測量范圍大，缺點(diǎn)是不能應用于高頻動(dòng)態(tài)環(huán)境。

變磁阻式壓力傳感器的主要部件是鐵芯和膜片。與之間的空隙形成磁路。有壓力作用時(shí)，氣隙的大小發(fā)生了變化，即磁阻發(fā)生了變化。如果在鐵芯線(xiàn)圈中加入一定的電壓，電流會(huì )隨氣隙的變化而變化，從而測量壓力。

在磁通密度高的情況下，鐵磁材料的導磁率不穩定的情況下，可以用變磁導壓傳感器來(lái)測量。變磁導式壓力傳感器用可移動(dòng)的磁性元件代替鐵芯，壓力的變化導致磁性元件的移動(dòng)，導磁率發(fā)生變化，得到壓力值。

霍爾壓力傳感器是根據一些半導體材料的霍爾效應制成的?；魻栃侵腹腆w導體放置在磁場(chǎng)，電流通過(guò)時(shí)，導體內的電荷載子受到羅倫茲的力量偏向，產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現象。電壓引起的電場(chǎng)力平衡洛倫茲力。通過(guò)霍爾電壓的極性，可以證明導體內部的電流是由帶粒子(自由電子)的運動(dòng)引起的。

在導體上加上垂直于電流方向的磁場(chǎng)，導線(xiàn)中的電子會(huì )受到羅倫茲的力量而聚集，在電子聚集的方向上產(chǎn)生電場(chǎng)，這個(gè)電場(chǎng)會(huì )使之后的電子受到電力的作用，平衡磁場(chǎng)引起的羅倫茲的力量，使之后的電子能夠順利通過(guò)產(chǎn)生的內部電壓稱(chēng)為霍爾電壓。

磁場(chǎng)為交換磁場(chǎng)時(shí)，霍爾電動(dòng)勢也為同頻交換電動(dòng)勢，建立霍爾電動(dòng)勢的時(shí)間極短，響應頻率高。理想霍爾元件的材料需要較高的電阻率和載流子轉移率，以獲得較大的霍爾電動(dòng)勢。常用霍爾元件的材料大多是半導體。

基于電渦流效應的壓力傳感器。電渦流效應是由一個(gè)移動(dòng)的磁場(chǎng)與金屬導體相交，或是由移動(dòng)的金屬導體與磁場(chǎng)垂直交會(huì )所產(chǎn)生。簡(jiǎn)而言之，就是電磁感應效應所造成。這個(gè)動(dòng)作產(chǎn)生了一個(gè)在導體內循環(huán)的電流。

電渦流特性使電渦流檢測具有零頻率響應等特性，因此電渦流壓力傳感器可用于靜態(tài)力的檢測。

五、振弦式壓力傳感器

振弦式壓力傳感器屬于頻率敏感型傳感器，這種頻率測量具有想當高的準確度，因為時(shí)間和頻率是能準確測量的物理量參數，而且頻率信號在傳輸過(guò)程中可以忽略電纜的電阻、電感、電容等因素的影響。同時(shí)，振弦式壓力傳感器還具有較強的抗干擾能力，零點(diǎn)漂移小、溫度特性好、結構簡(jiǎn)單、分辨率高、性能穩定，便于數據傳輸、處理和存儲，容易實(shí)現儀表數字化，所以振弦式壓力傳感器也可以作為傳感技術(shù)發(fā)展的方向之一。

振弦式壓力傳感器的敏感元件是拉緊的鋼弦，敏感元件的固有頻率與拉緊力的大小有關(guān)。弦的長(cháng)度是固定的，弦的振動(dòng)頻率變化量可用來(lái)測算拉力的大小，即輸入是力信號，輸出的是頻率信號。振弦式壓力傳感器分為上下兩個(gè)部分組成，下部構件主要是敏感元件組合體。上部構件是鋁殼，包含一個(gè)電子模塊和一個(gè)接線(xiàn)端子，分成兩個(gè)小室放置，這樣在接線(xiàn)時(shí)就不會(huì )影響電子模塊室的密封性。

振弦式壓力傳感器可以選擇電流輸出型和頻率輸出型。振弦式壓力傳感器在運作式，振弦以其諧振頻率不停振動(dòng)，當測量的壓力發(fā)生變化時(shí)，頻率會(huì )產(chǎn)生變化，這種頻率信號經(jīng)過(guò)轉換器可以轉換為4~20mA的電流信號。

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