壓力傳感器主要應用在汽車(chē)各種壓力的測量中

壓力傳感器主要應用在汽車(chē)各種壓力的測量中：

主要用于測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機油壓、進(jìn)水管壓力和輪胎壓力等。該傳感器以單晶硅為材料，利用MEMS技術(shù)，在材料的中間制造出力敏感膜片，然后在膜片上擴散雜質(zhì)，形成四個(gè)應變電阻，再通過(guò)惠斯頓電橋連接成電路，獲得高靈敏度。

        汽車(chē)上使用的MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式和聲表面波式等幾種常見(jiàn)形式?！盡EMS加速度計原理以牛頓經(jīng)典力學(xué)定律為基礎，一般由懸掛系統和檢測質(zhì)量組成，通過(guò)硅質(zhì)量塊的偏移來(lái)實(shí)現對加速度的檢測，主要應用于汽車(chē)氣囊系統、防滑系統、導航系統和防盜系統等，除電容式、壓阻式外，MEMS加速度計還具有壓電式、隧道電流式、諧振式和熱電偶式等形式。而電容式MEMS加速度計由于其靈敏度高，溫度對測量精度影響小，是MEMS微加速度計的主流產(chǎn)品。

微型陀螺是一種角速率傳感器，主要應用于汽車(chē)導航GPS信號補償和汽車(chē)底盤(pán)控制系統，其中包括振動(dòng)式、轉子式等多種傳感器。

大多數的振動(dòng)陀螺是利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座驅動(dòng)旋轉時(shí)所產(chǎn)生的哥氏效應來(lái)感測角速度的。舉例來(lái)說(shuō)，汽車(chē)轉彎時(shí)，系統通過(guò)陀螺儀測量角速度，以決定轉向是否到位，主動(dòng)地在內側或外側車(chē)輪上加適當的制動(dòng)，以防止汽車(chē)脫離車(chē)道，通常，這種系統與低加速度計組成主動(dòng)控制系統。

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