硅膠壓力具有成本優(yōu)勢，目前廣泛應用于胎壓計、壓力計、血壓計、大氣壓計、高度計、天氣預報、水深測量、空壓控制等。本文旨在以HY11P系列為控制芯片，說(shuō)明其使用。
原理說(shuō)明：
持續性。
硅壓力由橋式電阻構成，分為表壓和絕壓型。表壓以大氣壓為零，但絕壓以真空為零。
施加壓力時(shí)，其輸出電壓信號為正值。
Count=(V+-V-)/(VIN+-VIN-)=△R/R。
=Spanx(1+TCSx△T)xP/FS+Offset+SpanxTCOx△T。
PAinx(1-TCSx△T)x(Count–Offset)–TCOxFSx△T。
其中，
△T=T–Tc；當前溫度與校正時(shí)溫度的不同。
Span的單位是Count。
TCS是Span的溫度系數(單位:%/℃)
TCO是Offset的溫度系數(單位:%/℃)
Gain=FS/Span(單位:mBar/Count)
在傳感器US9173中，傳感器Offset的溫度在±0.08%/℃的范圍內，一般在-0.02%/℃左右。在測量表壓時(shí)，可以在加壓前減少報價(jià)。但是，絕壓測量時(shí)，必須充分考慮。
此外，由于硅壓力傳感器的電阻溫度較大，如果將參考電壓設定為輸入電壓，則Span的溫度會(huì )在-0.17~0.27%/℃左右。因此，建議接著(zhù)參考電阻，以參考電阻的電壓差為參考電壓。
可以看出:
Count=(V+-V-)/(VR+-VR-)=△R/Rref。
Rref的溫度比傳感器的r小，溫度反應規則。使用50ppm電阻時(shí)，一般Span的溫度可以減少到±0.05%/℃以?xún)?，典型值在?.02%/℃之間，遠遠優(yōu)于VDDA作為參考電壓。
但請注意，TCO和TCS對溫度不是常數。如果對溫度漂移的應用要求更高，則可以對不同批號的傳感器進(jìn)行溫度實(shí)驗，以獲得平均TCS和TCO的溫度曲線(xiàn)。測量時(shí)，用HY11P的內置溫度傳感器測量溫度變化，檢測TCS和TCO值，進(jìn)行溫度補償。
控制芯片。
HY11P系列的優(yōu)勢:
低壓工作→ADC最低工作電壓2.4V。
低功耗→使用內部2MHz打開(kāi)ADC，最大功耗小于1mA。
ADCGain放大→×1/4~×16。
內置預放大電路(PGA)→×1~×8。
高分辨率低溫漂移ADC→18bits輸出分辨率，Gaindrift:5PPM/℃。
ICOffset消除功能。
內置溫度傳感器可用作溫度測量和傳感器的溫度補償。
低功耗→使用內部2MHz打開(kāi)ADC，最大功耗小于1mA。
低壓檢測→多段電源電壓檢測。
排列SPI通信。
PWM/PDM輸出。
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